고순도 희토류 금속 및 합금 대상 시리즈 —— Lanthanum Target (LA)
청정: 2N ~ 4N (절대 순도)
제품 사양: 이중층 진공 포장 또는 오일 흡수 포장
표준 모델:
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기준 |
후난 희토류 표준 |
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등급 |
La-4Na-T |
La-3Na5-T |
La-2Na-T |
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LA, 그 이상 (%) |
99.99 |
99.95 |
99 |
|
|
la/re, 그 이상 (%) |
99.999 |
99.995 |
99.5 |
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불순물 내용이 초과되지 않아야합니다 (PPM) |
알 |
15 |
25 |
100 |
|
시 |
5 |
10 |
300 |
|
|
Fe |
20 |
100 |
2000 |
|
|
CA |
10 |
25 |
200 |
|
|
Cu |
20 |
100 |
500 |
|
|
Cr |
1 |
10 |
200 |
|
|
NI |
5 |
10 |
200 |
|
|
MN |
1 |
10 |
100 |
|
|
리 |
1 |
5 |
— |
|
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NA |
1 |
10 |
— |
|
|
K |
5 |
5 |
— |
|
|
C |
100 |
400 |
— |
|
|
O |
2000 |
4000 |
— |
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일반적인 사양 |
둥근 대상 |
φ164*6mm, φ180*12mm, φ203.2*6mm, φ469.9*3mm |
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제품 응용 프로그램:
란타넘 금속 표적은 우수한 유전 상수를 가지고있어 이상적인 하이 -K 게이트 유전체 재료를 갖습니다. 이 목표는 5nm 미만의 공정에서 트랜지스터의 게이트 유전 상수를 증가시키고 게이트 누출 전류를 줄이는 데 사용됩니다.
기술적 이점:
1. 고급 란타늄 금속을 원료로 사용하면 생성물의 절대 순도는 최대 4n에 도달 할 수 있습니다. 주요 불순물의 제어는 엄격하며 O ≤ 2000 ppm 및 c ≤ 100 ppm.
2. 평균 입자 크기는 100 μm 미만입니다.
3. 비표준 크기의 맞춤형 생산이 지원됩니다.

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